材料本身所具有的性能，必須通過正確的熱處理手段來達到（dào）。隻有良好的熱處理手段，才能實現我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性能（néng）要求，塑（sù）封模熱處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，並多次反複，通過這些不同的處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性和耐磨（mó）損（sǔn）性，一般材料（liào）均需加熱到1030℃以（yǐ）上。高溫下，各（gè）種（zhǒng）合金元（yuán）素充（chōng）分（fèn）溶解於奧氏體內，以便（biàn）在淬火時獲得高的基體硬（yìng）度，同時為了保證零件不發生脫（tuō）碳氧化，相應采用（yòng）了真空處理。目前半導體行業內使用（yòng）的高速（sù）率（lǜ）氣淬淬火爐（lú），可以在高真空條（tiáo）件下通過氮氣保（bǎo）護對工件進行加熱，既（jì）保證了工件的脫碳氧化（huà），又防止了合（hé）金元素的蒸發。同時采（cǎi）用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓（yā）力，對工件進行淬火冷卻，在保證工件充分（fèn）淬透的同時又（yòu）減少了變形。 
2、深冷處理與（yǔ）高溫回火 
    高合金（jīn）鋼在淬火後，由於其馬氏體轉變點（Ms點）均高於（yú）室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通（tōng）常要進行深冷處理和高溫回火，以（yǐ）保證殘餘奧氏體充分轉變為穩（wěn）定（dìng）的回火馬氏體。我們將（jiāng）經過真空淬火後的工件，在室溫至100℃之間進行校正，然後放（fàng）入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可（kě）以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環（huán），保（bǎo）證工件不會因為進出爐而產生變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也避免了工件（jiàn）在回火中的氧化開裂。目前對（duì）於D2類（lèi）材料，我們通常（cháng）在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回火（huǒ）爐，在抽真空後，加入99.999%的高純氮氣作為介質，通（tōng）過吹風方向的改變來（lái）形成對流，保證了工件的溫度均勻（yún）性，同時節省了回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了淬火回火（huǒ）及深冷處理（lǐ）質量的同時，我們同時對工件（jiàn）的其它環節給予了充分（fèn）的重視，過去認為的熱處理工件潔（jié）淨度（dù）與處理無關的觀點已經被（bèi）拋棄（qì），增加潔（jié）淨預處理。即將未入爐零件，通過真空清洗機進（jìn）行（háng）真（zhēn）空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和碎屑，保證了入（rù）爐工件不會帶入（rù）其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙（wū）染爐內環境和工件本身，從微觀上（shàng）保證了工件的組織潔淨度和處（chù）理質量的完美性（xìng），提高了工件的使用壽命。

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